Автор туралы ақпарат
Чхало, Н. И.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 5 (2023) | ЛИТОГРАФИЯ | Protective Freely Hanging Films for Projection Lithography Installations in the Extreme UV Range | |
| Том 53, № 5 (2024) | ЛИТОГРАФИЯ | New concept for the development of high-performance X-ray lithography |