Автор туралы ақпарат
Демидов, Е. В.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| № 5 (2024) | Articles | Complex Diagnostics of Silicon-on-Insulator Layers after Ion Implantation and Annealing |
Пайдаланушы
Жазылу
Жазылымды тексеру үшін жүйеге кіріңіз
Кілтсөздер
X-ray diffraction
X-ray photoelectron spectroscopy
atomic force microscopy
density functional theory
electron microscopy
electronic structure
ion implantation
irradiation
magnetron sputtering
microstructure
nanoparticles
neutron reflectometry
phase composition
scanning electron microscopy
silicon
structure
surface
surface morphology
synchrotron radiation
thin films
zinc oxide
Ағымдағы шығарылым
№ 11 (2024)
×
Пайдаланушы
Жазылу
Жазылымды тексеру үшін жүйеге кіріңіз
Кілтсөздер
X-ray diffraction
X-ray photoelectron spectroscopy
atomic force microscopy
density functional theory
electron microscopy
electronic structure
ion implantation
irradiation
magnetron sputtering
microstructure
nanoparticles
neutron reflectometry
phase composition
scanning electron microscopy
silicon
structure
surface
surface morphology
synchrotron radiation
thin films
zinc oxide
Ағымдағы шығарылым