Система циркуляции газа для формирования газоструйной мишени в вакуумной камере лазерно-плазменного источника

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Описаны конструкция и принцип работы системы циркуляции газа, используемого в качестве мишени для газоструйного лазерно-плазменного источника. Необходимость подобной системы обусловлена стремлением уменьшить потребление газа при сохранении производительности источника излучения. Циркуляционная система позволяет использовать один и тот же объем газа в качестве мишени многократно. В статье приведена конструкция системы, также даны результаты пробной эксплуатации и оценки герметичности сконструированной системы и времени работы на одной заправке газа.

Об авторах

В. Е. Гусева

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

А. Н. Нечай

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

А. А. Перекалов

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Автор, ответственный за переписку.
Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

Список литературы

  1. Gullikson E.M., Underwood J.H., Batson P.C., Nikitin V. // J. X-ray Sci. Technol.1992. V. 3. № 4. P. 283. https://doi.org/10.3233/XST-1992-3402
  2. Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Клюенков Е.Б., Салащенко Н.Н., Чехонадских Д.П., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2003. Т. 2. С. 43.
  3. Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Ya. et al. // AIP Advances. 2018. V. 8. № 10. P. 105003. https://doi.org/10.1063/1.5048288
  4. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. Т. 1. С. 5.
  5. Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И. // УФН. 2019. Т. 189.С. 323. https://ufn.ru / ru / articles/2019/3/k/
  6. Guseva V.E., Nechay A.N., Perekalov A.A., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I. // Appl. Phys. B. 2023. V. 129. P. 155. https://doi.org/10.1007/s00340-023-08095-8
  7. Kalmykov S.G., Butorin P.S., Sasin M.E. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. P. 103301. https://doi.org/10.1063/1.5115785
  8. Kubiak G.D., Bernardez II L.J., Krenz K.D. // Proc. SPIE. 1998. V. 3331. P. 81. https://doi.org/10.1117/12.309560
  9. Butorin P.S., Zadiranov Y.M., Zuev S.Y., Kalmykov S.G., Polkovnikov V.N., Sasin M.E., Chkhalo N.I. // Tech. Phys. 2018. V. 63. P. 1507. https://doi.org/10.1134/S1063784218100080
  10. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. V. 3. P. 082130. http://dx.doi.org/10.1063/1.4820354
  11. Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 557. https://doi.org/10.1116/1.582224
  12. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A. et al. // Opt. Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/OE.26.033718
  13. Болдарев А.С., Гасилов В.А., Левашов В.Е., Медников К.Н., Пирожков А.С., Пирожкова М.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2004. T. 34. № 7. С. 679.
  14. Kranzusch S., Mann K. // Opt. Commun. 2001. V. 200. P. 223. https://doi.org/10.1016/s0030-4018(01)01639-x
  15. Holburg J., Müller M., Mann K., Wieneke S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2019. V. 37. P. 031303. https://doi.org/10.1116/1.5089201
  16. Капралов В.Г., Корде Р., Левашов В.Е., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2002. Т. 32. № 2. С. 149.
  17. Shields H., Fornaca S.W., Petach M.B., Michaelia, M., McGregor R.D., Moyer R.H., Pierre R.J.S. // Proc. SPIE. 2002. V. 4688. https://doi.org/10.1117/12.472266
  18. Гусева В.Е., Корепанов М.А., Королева М.Р., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // ПТЭ. 2023. № 4. С. 145.
  19. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н. // ЖТФ. 2019. Т. 89. № 11. С. 1656. https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48324.131-19

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025