Отправить статью по E-mail 
Эллипсометрический контроль толщины пленок карбида кремния на полиметилметакрилатной основе
- Авторы: Воронов А.П1, Воронов И.А.1, Митрофанов Е.А2
-
Учреждения:
- ГБОУ ВПО «Московский государственный медико-стоматологический университет им. А.И. Евдокимова»
- ОАО «НИИ вакуумной техники им. С.А. Векшинского»
- Выпуск: Том 19, № 1 (2015)
- Страницы: 24-26
- Раздел: Статьи
- Статья получена: 21.07.2020
- Статья опубликована: 15.02.2015
- URL: https://rjdentistry.com/1728-2802/article/view/39332
- DOI: https://doi.org/10.17816/dent.39332
- ID: 39332
Цитировать
Полный текст
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Доступ платный или только для подписчиков
Аннотация
Путем экспериментального измерения нанесенных ионно-плазменным напылением тонких пленок SiC было показано, что эллипсометрический контроль технологического процесса изготовления сложных композиционных покрытий, позволяющий точно выбрать время нанесения покрытия для получения нужной толщины.
Ключевые слова
Полный текст
Об авторах
А. П Воронов
ГБОУ ВПО «Московский государственный медико-стоматологический университет им. А.И. Евдокимова»Кафедра комплексного зубопротезирования 127206, г. Москва
Игорь Анатольевич Воронов
ГБОУ ВПО «Московский государственный медико-стоматологический университет им. А.И. Евдокимова»
Email: voronov77@mail.ru
Кафедра комплексного зубопротезирования 127206, г. Москва
Е. А Митрофанов
ОАО «НИИ вакуумной техники им. С.А. Векшинского»117105, г. Москва
Список литературы
- Vedam K. Spectroscopic ellipsometry: a historical overview. Thin Solid Films. 1998; 313-314: 1-9.
- Azzam R.M.A. Ellipsometry. In: Handb. Opt. Vol. I: Geom. Phys. Opt. Polariz. Light. Components Instruments. Third Ed. / Ed. M. Bass. McGraw Hill Professional, Access Engineering; 2010: 16.116.25.
- Воевода М.И. и др. Применение эллипсометрии для исследований биоорганических сред. Автометрия. 2011; 47(5): 114-21.
- Kolodnyi G.Y. et al. Ion beam optical coatings for visible and near-IR lasers. In: Laser Opt. 2000 / Ed V.I. Ustugov. International Society for Optics and Photonics; 2001: 120-5.
- Крылова Т.Н., Бохонская И.Ф., Карапетян Г.А. Измерение прозрачных пленок на поверхности стекла эллипсометрическим и спектрофотометрическим методами. Оптика и спектроскопия. 1980; 49(4): 802-8.
- Anusavice K.J. Phillips’ Science of Dental Materials. 11th Ed. Elsevier Health Sciences; 2003.
- Gautam R. et al. Biocompatibility of polymethylmethacrylate resins used in dentistry. J. Biomed. Mater. Res. B: Appl. Biomater. 2012; 100(5): 1444-50.
- Nikawa H., Yamamoto T., Hamada T. Effect of components of resilient denture-lining materials on the growth, acid production and colonization of Candida albicans. J. Oral Rehabil. 1995; 22(11): 817-24.
- Austin A.T., Basker R.M. The level of residual monomer in acrylic denture base materials with particular reference to a modified method of analysis. Br. Dent. J. 1980; 149(10): 281-6.
- Kallus T., Mjor I.A. Incidence of adverse effects of dental materials. Scand. J. Dent. Res. 1991; 99(3): 236-40.
- Takami Y. et al. Protein adsorption onto ceramic surfaces. J. Biomed. Mater. Res. 1998; 40(1): 24-30.
- Harder C., Rzany A., Schaldach M. Coating of vascular stents with antithrombogenic amorphous silicon carbide. Progr. Biomed. Res. 1999; 4: 71-7.
- Huguenin-Love J. et al. Growth and characterization of silicon carbide thin films on silicon using a hollow cathode pulse sputtering technique. Thin Solid Films. 2012; 520(7): 2395-408.
- Saddow S.E. et al. Chapter 2: SiC films and coatings: Amorphous, polycrystalline, and single crystal forms. Silicon Carbide Biotechnol. Elsevier; 2012: 17-61.
- Азарова В.В., Вольпян О.Д., Фокин В.В. Эллипсометрия градиентных диэлектрических нанопленок. В кн.: Труды X Межвузовской научной школы молодых специалистов «Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине». 2011; 19-27.
Дополнительные файлы
